学术报告第201758期

报告题目：MEMS谐振传感器的工作原理和设计方法

报告人：邹旭东

报告时间：2017年11月7日 下午4:00—5:00

报告地点：南一楼中311

报告摘要：

This talk will introduce the working principle and design methodology of MEMS based resonant sensor and giving a high resolution accelerometer design as example. A MEMS resonant sensor consists of one or more micromachined resonators and other functional components. Resonators are normally driven into resonance when the sensor in operation. Depending on different sensor designs and applications, the stiffness, mass and/or damping factor of micromachined resonators can be perturbed by the measurand and result in the change of resonant status which can be detected in the format of phase/frequency shift or amplitude/eigenstate variance. The resonant sensing principle scales well with miniaturization and may offer unprecedented sensitivity, large dynamic range with excellent linearity and natural rejection to low frequency noise, which makes it suitable for high precision sensor’s application. In addition, this talk will discuss the fabrication processes required by resonant sensors and how to improve the sensor’s performance by introduce nonlinearity into resonator’s design and operation.

报告人简介：

邹旭东，1986年11月生于青岛市，入选中组部第十二批“计划”青年项目，现任中国科学院电子学研究所“传感技术联合国家重点实验室”研究员、博士生导师，中国科学院大学岗位教授，中国科学技术大学微电子学院兼职博士生导师。2009年本科毕业于北京大学元培计划实验班（微电子专业），2013年博士毕业于剑桥大学工程系（微系统专业）。并曾先后在北京大学“微米/纳米加工技术国家重点实验室”与剑桥大学“纳米科学中心”从事研究工作。主要从事微机械谐振器，高精度微惯性传感器，振动式微发电机，射频微机电滤波器、振荡器以及微机械加工工艺开发等研究。主持或共同主持Innovate UK, UK NERC以及科技创新特区，中科院重点部署项目等科研项目6项。研究成果在MEMS领域内顶级期刊（JMEMS等）及顶级国际会议（Transducers，MEMS等）上共发表论文20余篇，并多次获得会议优秀论文奖。在高精度微惯性传感器领域已申请6项国际专利（1项授权）并与瑞典Silex Microsystem公司合作成功开发一套专用高性能惯性传感器微加工工艺流程并实现技术转让。

曾担任全英中国学生学者联谊会执委会委员、创业与发展部部长，全英北京大学校友会执行理事、主要创始人，现任中国微米纳米技术学会国际交流委员会委员。